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고주파 평면 마그네트론 스퍼터링으로 제작된 ZnO 박막의 [0002] 배향성과 압전소자에의 응용연구 = [0002] Orientation of ZnO Films Prepared by a RF Planar Magnetrom Sputtering and Their Application to Piezoelectric Devices
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고주파 평면 마그네트론 스퍼터링으로 제작된 ZnO 박막의 [0002] 배향성과 압전소자에의 응용연구 = [0002] Orientation of ZnO Films Prepared by a RF Planar Magnetrom Sputtering and Their Application to Piezoelectric Devices
- 자료유형
- 학위논문
- DDC
- 535
- 청구기호
- 535 한45ㄱ
- 저자명
- 한봉명
- 서명/저자
- 고주파 평면 마그네트론 스퍼터링으로 제작된 ZnO 박막의 [0002] 배향성과 압전소자에의 응용연구 = [0002] Orientation of ZnO Films Prepared by a RF Planar Magnetrom Sputtering and Their Application to Piezoelectric Devices / 韓鳳鳴 저
- 발행사항
- 대전 : 韓南大學校, 1997.
- 형태사항
- xiii,167 p. : 삽도 ; 26 cm.
- 학위논문주기
- 학위논문(박사) - 한남대학교 대학원 : 물리학과, 1997.
- Control Number
- joongbu:34812
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