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DDC  

621.3815-20

청구기호  

621.3815 반25ㅁ

단체저자  

반도산업 기술연구소

서명/저자  

미세패턴 Printing system 개발 = Development of fine pattern printing system / 반도산업(주) 기술연구소.

발행사항  

[과천] : 과학기술부, 2003.

형태사항  

xi, 62, 67 p. : 삽도 ; 30cm.

서지주기  

참고문헌수록

내용주기  

완전내용미세패턴 printing 시스템 설계 제작기술 = Development of design and manufacturing technology of fine pattern printing system / 반도산업기술연구소. - XYθ stage 및 위치/인압 제어기술개발 = Development of XYθ stage and position/printing pressure control system / 한국기계연구원

기타저자  

한국기계연구원

기타저자  

한국 과학기술부

기타서명  

미세패턴 printing 시스템 설계 제작기술

기타서명  

Development of design and manufacturing technology of fine pattern printing system

기타서명  

XYθ stage 및 위치/인압 제어기술개발

기타서명  

Development of XYθ stage and position/printing pressure control system

전자적 위치 및 접속  

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Control Number  

joongbu:307306