Material Type  

 단행본

Language Code  

본문언어 - kor, 요약문언어 - eng

DDC  

621.3815-20

Callnumber  

621.3815 반25ㅁ

단체저자  

반도산업 기술연구소

Title/Author  

미세패턴 Printing system 개발 = Development of fine pattern printing system / 반도산업(주) 기술연구소.

Publish Info  

[과천] : 과학기술부, 2003.

Material Info  

xi, 62, 67 p. : 삽도 ; 30cm.

서지주기  

참고문헌수록

Formatted Contents Note  

완전내용미세패턴 printing 시스템 설계 제작기술 = Development of design and manufacturing technology of fine pattern printing system / 반도산업기술연구소. - XYθ stage 및 위치/인압 제어기술개발 = Development of XYθ stage and position/printing pressure control system / 한국기계연구원

Added Entry-Corporate Name  

한국기계연구원

Added Entry-Corporate Name  

한국 과학기술부

기타서명  

미세패턴 printing 시스템 설계 제작기술

기타서명  

Development of design and manufacturing technology of fine pattern printing system

기타서명  

XYθ stage 및 위치/인압 제어기술개발

기타서명  

Development of XYθ stage and position/printing pressure control system

Electronic Location and Access  

로그인을 한후 보실 수 있는 자료입니다.

Control Number  

joongbu:307306