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미세패턴 Printing system 개발 = Development of fine pattern printing system
미세패턴 Printing system 개발 = Development of fine pattern printing system
상세정보
- 자료유형
- 단행본
- 언어부호
- 본문언어 - kor, 요약문언어 - eng
- DDC
- 621.3815-20
- 청구기호
- 621.3815 반25ㅁ
- 단체저자
- 반도산업 기술연구소
- 서명/저자
- 미세패턴 Printing system 개발 = Development of fine pattern printing system / 반도산업(주) 기술연구소.
- 발행사항
- [과천] : 과학기술부, 2003.
- 형태사항
- xi, 62, 67 p. : 삽도 ; 30cm.
- 서지주기
- 참고문헌수록
- 내용주기
- 완전내용미세패턴 printing 시스템 설계 제작기술 = Development of design and manufacturing technology of fine pattern printing system / 반도산업기술연구소. - XYθ stage 및 위치/인압 제어기술개발 = Development of XYθ stage and position/printing pressure control system / 한국기계연구원
- 기타저자
- 한국기계연구원
- 기타저자
- 한국 과학기술부
- 기타서명
- 미세패턴 printing 시스템 설계 제작기술
- 기타서명
- Development of design and manufacturing technology of fine pattern printing system
- 기타서명
- XYθ stage 및 위치/인압 제어기술개발
- 기타서명
- Development of XYθ stage and position/printing pressure control system
- 전자적 위치 및 접속
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- Control Number
- joongbu:307306
MARC
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