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나노공정용 유-무기 소재의 패터닝 기술개발 : UV-NIL법에 의한 세라믹 패턴공정 확립 : 나노메카트로닉스기술개발사업단 = Ceramic patterning via UV-NIL (nanoimrinting lithography) process
나노공정용 유-무기 소재의 패터닝 기술개발 : UV-NIL법에 의한 세라믹 패턴공정 확립 : 나노메카트로닉스기술개발사업단 = Ceramic patterning via UV-NIL (nanoimrinting lithography) process
상세정보
- 자료유형
- 단행본
- 언어부호
- 본문언어 - kor, 요약문언어 - eng
- DDC
- 620.118-20
- 청구기호
- 620.118 충19ㄴ
- 서명/저자
- 나노공정용 유-무기 소재의 패터닝 기술개발 : UV-NIL법에 의한 세라믹 패턴공정 확립 : 나노메카트로닉스기술개발사업단 = Ceramic patterning via UV-NIL (nanoimrinting lithography) process / 충남대학교.
- 발행사항
- [과천] : 과학기술부, 2005
- 형태사항
- 32장 : 채색삽도 ; 30cm
- 기타저자
- 충남대학교
- 기타저자
- 한국 과학기술부
- 기타서명
- Ceramic patterning via UV-NIL process
- 전자적 위치 및 접속
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- Control Number
- joongbu:304142
MARC
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