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중부대학교 도서관
도서명 :
SiF₄H₂gas를 이용하여 제조된
다결정 실리콘 박막에서의 기판에 따른 Stress 특성변화
저 자 :
이창우
청구기호 :
A-041-국38기-v.15
소장처 :
대출요구사항 :
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